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최양규 교수
DVD영화 1250편 저장 가능
KIST 최양규 교수팀…10년뒤 상용화
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국내 연구진이 머리카락의 1만2천분의 1 두께로, 세계에서 가장 작은 8㎚(나노미터)급 비휘발성 메모리 소자를 개발했다.
한국과학기술원 최양규(41·사진·전자전산학) 교수팀과 나노종합팹센터(소장 이희철)는 13일 “지난해 연구팀이 개발한 3㎚급 실리콘 나노선 3차원 소자와 삼성전자가 개발한 ‘SONOS’(실리콘-산화막-질화막-산화막-실리콘) 구조 비휘발성 메모리를 결합해 ‘8㎚급 3차원 차세대 비휘발성 플래시 메모리 소자’를 개발했다”고 밝혔다. 1㎚는 10억분의 1m다. 이번 연구 성과는 1기가 메모리의 1000배인 테라급 반도체 소자 개발의 가능성을 높인 것으로 평가된다. 1개의 테라비트 메모리에는 1250편의 디브이디(DVD) 영화를 저장할 수 있다. 이 메모리를 주사위 크기만하게 쌓으면 한 사람이 한평생 보고 들은 정보를 모두 담을 수 있다. 현재까지 가장 용량이 큰 메모리는 지난해 삼성전자가 개발한 40㎚급 32기가 메모리로, 손톱만한 기판에 32억개의 소자를 집적한 것이다.
최 교수는 “이번 성과는 지금까지 한계로 여겨졌던 10㎚급 이하에서도 소자가 작동함을 증명한 것이지만, 상용화를 위해서는 산화막-질화막-산화막(ONO) 박막 두께를 줄이는 기술이나 새 소재 개발이 선행돼야 한다”며 “이에 10년 정도 걸릴 것”이라고 밝혔다. 연구팀의 성과는 오는 6월12일 일본 교토에서 열리는 반도체 분야 최대 학술대회인 ‘초고집적회로(VLSI) 국제학회’에서 발표된다.
이근영 기자 kylee@hani.co.kr
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